| 27 |
mini ALD |
특허 |
KR |
㈜ 넥서스비 |
2021-06-22 |
10-2021-0080871 |
2022-12-29 |
10-2022-0170164 |
소형 원자층 증착 시스템의 가스 공급/펌핑 장치 |
| 26 |
mini ALD |
특허 |
KR |
㈜ 넥서스비 |
2021-06-22 |
10-2021-0080870 |
2022-12-29 |
10-2022-0170163 |
소형 원자층 증착 장치 |
| 25 |
공간분할 ALD |
특허 |
PCT |
㈜ 넥서스비 |
2023-09-01 |
PCT/KR2022/010333 |
2023-07-06 |
US WO 2023/128097 |
Atomic layer deposition apparatus and atomic layer deposition method using same |
| 24 |
ALD |
특허 |
PCT |
㈜ 넥서스비 |
2023-09-01 |
PCT/KR2023/013053 |
2024-03-07 |
WO 2024/049264 |
원자층 증착장치 |
| 23 |
공간분할 ALD |
특허 |
KR |
㈜ 넥서스비 |
2023-04-21 |
10-2023-0052499 |
|
|
공간분할 원자층 증착 장치 |
| 22 |
공간분할 ALD |
특허 |
KR |
㈜ 넥서스비 |
2022-12-09 |
10-2022-0171752 |
|
|
공간분할 원자층 증착 장치 |
| 21 |
공간분할 ALD |
특허 |
KR |
㈜ 넥서스비 |
2023-04-21 |
10-2023-0052500 |
|
|
공간분할 원자층 증착 장치 |
| 20 |
공간분할 ALD |
특허 |
KR |
㈜ 넥서스비 |
2023-03-29 |
10-2023-0041295 |
|
|
원자층 증착 장치 |
| 19 |
공간분할 ALD |
특허 |
KR |
㈜ 넥서스비 |
2023-03-29 |
10-2023-0041296 |
|
|
공간분할 원자층 증착 장치 |
| 18 |
Batch type ALD |
특허 |
KR |
㈜ 넥서스비 |
2022-12-09 |
10-2022-0171753 |
|
|
배치 타입 원자층 증착 장치 |
| 17 |
산화갈륨증착장비 |
특허 |
KR |
㈜ 넥서스비 |
2023-11-01 |
10-2023-0149422 |
|
|
산화갈륨용 하이브리드 증착장치 및 이를 이용한 하이브리드 증착 방법 |
| 16 |
산화갈륨증착장비 |
특허 |
PCT |
㈜ 넥서스비 |
2023-11-02 |
PCT/KR2023/017367 |
|
|
산화갈륨용 하이브리드 증착장치 및 이를 이용한 하이브리드 증착 방법 |
| 15 |
산화갈륨증착장비 |
특허 |
KR |
㈜ 넥서스비 |
2024-06-12 |
10-2024-0076005 |
|
|
산화갈륨레이어를 갖는 기판 및 이것의 제조방법 |
| 14 |
공간분할 ALD |
특허 |
US |
㈜ 넥서스비 |
2024-06-27 |
US18755892 |
|
|
Atomic layer deposition apparatus and atomic layer deposition method using same |
| 13 |
다중샤워헤드 |
특허 |
KR |
㈜ 넥서스비 |
2024-08-30 |
10-2024-0117451 |
|
|
다성분계 박막 증착용 다중 샤워헤드 구조를 가지는 원자층 증착 장치 |
| 12 |
산화갈륨증착장비 |
특허 |
US |
㈜ 넥서스비 |
2024-11-21 |
US18954841 |
|
|
Hybrid depositing apparatus for gallium oxide and method for hybrid depositing using same |
| 11 |
Batch ALD |
특허 |
KR |
㈜ 넥서스비 |
2024-11-27 |
10-2024-0171862 |
|
|
샤워헤드 타입의 가스 공급 모듈을 갖는 배치 타입 원자층 증착 장치 |
| 10 |
Batch ALD |
특허 |
KR |
㈜ 넥서스비 |
2024-11-27 |
10-2024-0171868 |
|
|
히팅 모듈을 갖는 배치 타입 원자층 증착 장치 |
| 9 |
산화갈륨증착장비 |
특허 |
CN |
㈜ 넥서스비 |
2025-02-27 |
202380062510.9 |
|
|
HYBRID DEPOSITING APPARATUS FOR GALLIUM OXIDE AND METHOD FOR HYPRID DEPOSITING USING SAME |
| 8 |
산화갈륨증착장비 |
특허 |
CN |
㈜ 넥서스비 |
2025-02-27 |
202510222018.4 |
|
|
SUBSTRATE HAVING GALLIUM OXIDE LAYER AND MANUFACTURING METHOD FOR THE SAME |
| 7 |
다중샤워헤드 |
특허 |
KR |
㈜ 넥서스비 |
2025-11-19 |
10-2025-0176037 |
|
|
다성분계 박막 증착용 다중 샤워헤드 조립체 |
| 6 |
R2R ALD |
특허 |
KR |
㈜ 넥서스비 |
2025-11-26 |
10-2025-0182265 |
|
|
롤투롤 원자층 증착 장치 |
| 5 |
기판처리장치 |
특허 |
KR |
㈜ 넥서스비 |
2025-03-28 |
10-2025-0040191 |
|
|
기판처리장치 |
| 4 |
기판처리장치 |
특허 |
KR |
㈜ 넥서스비 |
2025-06-27 |
10-2025-0085623 |
|
|
기판처리장치 |
| 3 |
기판처리장치 |
특허 |
CN |
㈜ 넥서스비 |
2026-02-13 |
202610211915.X |
|
|
PROCESSING APPARATUS FOR SUBSTRATE |
| 2 |
기판처리장치 |
특허 |
US |
㈜ 넥서스비 |
2026-02-15 |
US 19-540791 |
|
|
PROCESSING APPARATUS FOR SUBSTRATE |
| 1 |
공간분할 ALD |
특허 |
KR |
㈜ 넥서스비 |
2026-02-25 |
10-2026-0034461 |
|
|
원자층증착장치 |
