DRAM/NAND Capacitor, TSV, Stacking 등
High Step coverage & Unif., Impurity Free Layer 및
차세대 전력반도체용 GaOx Epi. 증착

Li-ion Battery의 충방전 효율향상을 위한 양극재 및 분리막
& 페로브스카이트 태양전지 등 Passivation Layer

Flexible, Micro LED 및 AR/VR용 Micro OLED 등
저온/정밀조성제어 Passivation 및
OLED 차세대 Channel Layer(산화물반도체,IGZO) 증착

증착 및 식각 Chamber내 Showerhead 및 기타 Parts의 내열,
내부식성 향상 및 2D Film등의 표면 특성 개질 등 기능성 Layer
및 Powder Coating